Mit dem Scheibenlaser zu hohen Durchsatzraten bei Solarzellen

Die Scheibenlaser der Prenovatec sind gütegeschaltet und haben beste Strahlqualität (TEM00). Die Lasersysteme haben eine sehr hohe Pulsspitzenleistung, die durch eine Pulsüberhöhung erzielt wird. Die sehr schnelle und exakte Positionierung der einzelnen Pulse erfolgt über einen Galvo-Ablenkkopf. Sie eignen sich daher speziell für die Materialbearbeitung von Solarzellen. So gewährleistet der Scheibenlaser mit entsprechender Pulslänge, einen minimalen Wärmeeintrag in das Material und beim Schneiden oder Strukturieren entstehen nur sehr geringe Materialaufschmelzungen an den Schnittkanten. Das Silizium wird nur extrem wenig belastet oder geschwächt.

Ob Schneiden, Ritzen oder Bohren, jede dieser berührungslosen und mechanisch belastungsarmen Bearbeitungsmethoden erfolgt verschleißfrei und der Materialabtrag geht in mehreren Durchgängen ohne Hilfsgas von statten. Dies erhöht die Effizienz und reduziert die negativen Einflüsse auf den Werkstoff.

Bei industriellen Anwendungen sind beim Perkussionsbohren circa 3.000 Löcher pro Sekunde möglich. Dabei werden Bohrungen von circa 50 µm Bohrdurchmesser in den Wafer eingebracht. Diese Bohrungen dienen zur Durchkontaktierung der Zellen. Aber auch das Schneiden und Vereinzeln von Wafern sind Anwendungsbereiche des Scheibenlasers.

Die Vorteile des Scheibenlasers in der Solarzellenbearbeitung auf einem Blick:

•   Reduzierte Gratbildung und Aufschmelzung
•   Geringer Wärmeeintrag
•   Hohe Puls zu Puls-Stabilität
•   So gut wie keine Mikrorisse
•   Niedrige Betriebskosten

Siliziumwafer 300 µm nach dem Laserschneiden

Laserpuls in Silizium während dem Perkussionsbohren

Bohrung in 200 µm starkem Silizium